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商品名稱: GM-SP-批式濺鍍設備

商品圖片:
<GM-SP-批式濺鍍設備>


商品內容:

我們的鍍膜系統提供以下的功能,您可以依照您的需求選擇:

 

l   多個雙陰極磁控靶源

l   DC/反應式濺鍍

l   電漿清潔

 

我們的設計站在使用者立場思考,希望能創造最好的操作經驗,因此我們的設備也具有以下特色:

 

l   One-touch全自動操作

l   真空加強幫浦使用變頻器控制,平順的啟動與停止,防止設備振動。

l   擴散幫浦採用SCR溫度控制,穩定抽氣速率,以使鍍膜品質穩定。

l   擴散幫浦溫度拉進電腦內作製程監測與控制,提升設備穩定度。

l   管路真空度與桶身真空度拉進電腦內作製程監測與控制,提升設備穩定度。

 

 

 

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